Beschreibung
Sputtertarget | Kohlenstoff (C) | 25,4 x 3,2 mm | 99,99%
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Kohlenstoff (C) | Allgemeine Information
Standard Kohlenstoff (Graphit) Targets können sehr schwierig zu sputtern sein. Kohlenstoff hat eine der niedrigsten Sputterausbeuten aller Elemente, was auf seine Sp2-Mikrostruktur sowie seine anisotropen elektrischen Eigenschaften zurückzuführen ist. Aufgrund der offenen Stellen im Strukturgitter von Carbon sind die Sputterraten gering und der Prozess sehr zeitaufwändig. Standard-Carbon-Graphit-Targets werden typischerweise durch Heißpressen hergestellt. Diese Targets sind im Allgemeinen hochporös und enthalten zufällig orientierte Körner, was zu unterschiedlichen lokalisierten Effekten führt, was zu der geringen Sputterausbeute beiträgt.
Auf der anderen Seite sind Sputtertargets aus pyrolytischem Graphit viel gerichteter und können mit höheren Raten sputtern. Targets aus pyrolytischem Graphit werden durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) hergestellt und Atom für Atom gewachsen. Das resultierende Material hat bessere thermische, elektrische und chemische Eigenschaften. Aufgrund der Art des Abscheidungsprozesses durch CVD nähert sich pyrolytisches Graphitmaterial der theoretischen Dichte an und ist im Wesentlichen nicht porös, sodass ein schnelles Ausgasen auftritt.
Kohlenstoff (C) | Detaillierte Spezifikation
| Werkstofftyp | Kohlenstoff |
| Symbol | C |
| Atomares Gewicht | 12,0107 |
| Ordnungszahl | 6 |
| Farbe/Aussehen | Schwarz, nicht-metallisch |
| Wärmeleitfähigkeit | 140 Watt/m.K |
| Schmelzpunkt | ~ 3.652 °C |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 7,1 x 10-6/K |
| Theoretische Dichte | 2,26 g/cm³ |
| Z-Verhältnis | 3,26 |
| Sputter | PDC |
| Max. Leistungsdichte | 80 Watt/Quadratzoll * |
| Bondingart | Indium, Elastomer |
| Bemerkung | Elektronenstrahl bevorzugt. Lichtbogenverdampfung. Schlechte Filmhaftung |
* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.
