Beschreibung
Sputtertarget | Zirkonium (Zr) | 50,8 x 6,3 mm | 99,2% (Zr + Hf)
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Zirkonium (Zr) | Allgemeine Information
Zirkonium ist im Periodensystem als Übergangsmetall eingestuft. Es hat eine Dichte von 6,49 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 1.852 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.987 °C. Es ist silberweiß und wird aufgrund seiner Neigung zur Korrosionsbeständigkeit stark in der chemischen Industrie eingesetzt. Zirkonium findet man in chirurgischen Geräten, supraleitenden Magneten und der Umhüllung von Kernreaktoren. Es wird auch als Legierungsmittel für Stahl verwendet. Seine Verbindung, Zirkonoxid, ist oft ein Ersatz für Diamanten in Schmuck. Zirkonium, zusammen mit seinen Legierungen und Verbindungen, wird unter Vakuum für optische Beschichtungen, Halbleiter und Datenspeicher verdampft.
Zirkonium (Zr) | Detaillierte Spezifikation
| Werkstofftyp | Zirkonium |
| Symbol | Zr |
| Atomares Gewicht | 91,224 |
| Ordnungszahl | 40 |
| Farbe/Aussehen | metallisch, silbrig weiß |
| Wärmeleitfähigkeit | 22,7 Watt/m.K |
| Schmelzpunkt | 1.852 °C |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5,7 x 10-6/K |
| Theoretische Dichte | 6,49 g/cm³ |
| Z-Verhältnis | 0,6 |
| Sputter | Gleichspannung |
| Max. Leistungsdichte | 50 Watt/Quadratzoll * |
| Bondingart | Indium, Elastomer |
| Bemerkung | Legiert mit Wolfram. Dünnfilme oxidieren sofort. |
* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.
